普發(fā)PFEIFFER真空泵

ATH-M / ATP-M 渦輪分子真空泵
點(diǎn)擊：34發(fā)布時(shí)間：2025-08-29
ATH-M / ATP-M 渦輪分子真空泵

ATH-M 和 ATP-M 渦輪分子真空泵通過五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)高真空、超高真空乃至 10?11 hPa（mbar）的極高真空度。

這些真空泵專為半導(dǎo)體制造、工業(yè)應(yīng)用和研發(fā)等嚴(yán)苛應(yīng)用設(shè)計(jì)，其工作原理基于高速轉(zhuǎn)子技術(shù)，在保證高抽速的同時(shí)實(shí)現(xiàn)超低振動(dòng)運(yùn)行。

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